RTR片面検査装置 | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

RTR片面検査装置

製品特徴

1.超高分解能解検査対応(0.5μ~)
2.超微細L/S=5/5µmパターンピッチ対応
3.業界トップクラス高速検査対応
4.自社独自のAuto-focusによる最適なイメージ取得
5.ご要望に合わせた顧客専用オリジナルカスタマイズ対応

用途

FPC用自動外観検査

スペック

ワークタイプ
ロールTOロールピッチ搬送
検査面
片面
検査分解能
1µm
ワークタイプ有効寸法
250mm~カスタマイズ可
最小線幅
L/S=5/5µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど

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製品情報

光学系フィルム

ITデバイスなどその他