TSP用自動外観検査装置(シート) | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

TSP用自動外観検査装置(シート)

製品特徴

1.In-line AOI実現
2.Tact timeに合わせた最適なカスタマイズ対応
3.複数のカメラ台による超高速検査実現
4.カラーベリファイなどオプション対応
5.検査項目に最適した自社製照明システム
6.豊富な実績から得たGUI 

用途

フィルム用外観検査

スペック

ワークタイプ
シート
検査面
片面
検査分解能
1µm~
ワークタイプ有効寸法
500mm*500mm~カスタマイズ可
最小線幅
L/S=10/10µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、欠け、
突起、銅残り、異物、ピンホール等

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製品情報

光学系フィルム

ITデバイスなどその他