シート用自動検査装置(AOI)
製品特徴
1.超高分解能検査対応(0.5μ～）
2.不良構成により反射光、透過光対応可能
3.製品構成により多様な検査ステージ対応
4.自社設計による最適なカスタマイズ対応
用途
FPC用自動外観検査
スペック
- ワークタイプ
- シート
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- 0.5µm~
- ワークタイプ有効寸法
- 250*250mm～カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S＝3/3µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど
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