RTR COF用自動外観検査装置(COF AOI)
製品特徴
1．パターン検査（AOI）＋外観検査（AVI）が1台で対応できる統合検査装置
2．独自技術の多様な照明による複合検査実現
3．多数のCOF検査装置実績から最適な検査Layoutご提案
4．ご要望に合わせた顧客専用オリジナルカスタマイズ対応
用途
COF用
スペック
- ワークタイプ
- RtoR
- 検査面
- 片面または両面
- 検査分解能
- 1µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 35*250mm～カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S＝3/3µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど
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