ガラスマスク実用版自動外観検査装置(Glass Mask AOI)
製品特徴
1.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
2.ダメージフリーの最適なハンドリング機構採用
3.検査項目に適した自社製透過照明搭載
4.超高速検査システム搭載
5.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
6.豊富な実績から得たGUI
用途
ガラス実用版 パターン形状欠陥検査
スペック
- ワークタイプ
- シートタイプ
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- 0.5µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 800mm*800mmよりカスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S＝5/5µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど
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