ワークタイプ シートタイプ 検査面 片面 検査分解能 1µm～ ワークタイプ有効寸法 500*500mm～カスタマイズ可 最小線幅 L/S=10/10µm以上 カメラ 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能 照明 高輝度LED光源（長寿命タイプ） 検査項目 オープン、ショート、欠け、 突起、銅残り、異物、ピンホール等
