3D高速検査装置
製品特徴
1.超微細高さ検査実現（5μ～10μ）
2.多様な製品表面に対応（正反射＆乱反射タイプ）
3.超高速測定実現（連続搬送による測定）
4.自社独自光学系による設計
用途
スペック
- ワークタイプ
- ロール、シートまたは部品にも対応可能
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- X方向、Y方向20μ
- ワークタイプ有効寸法
- 300mm×300mm以内（この以上のサイズについては別途相談）
- 最小欠陥サイズ
- 検出高さ タイプA：1μ～10μ タイプB：30μ以上
- カメラ
- 高解像度エリアカメラ
- 照明
- LED＆レーザー光源タイプ
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