RTR TSP用自動外観検査装置（TSP AOI）
製品特徴
1.業界初、両面同時検査装置
2.連続搬送による超高速検査実現
3.配線、SBM,VA領域の異物など全面検査実現
4.検査項目に最適した自社製照明システム
5.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
6.豊富な実績から得たGUI
用途
フィルム用外観検査
スペック
- ワークタイプ
- ロールTOロール連続搬送
- 検査面
- 両面同時検査
- 検査分解能
- 1µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 500mm～カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S=10/10µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、欠け、
突起、銅残り、異物、ピンホール等
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