メタルマスク用自動外観検査装置（FMM AOI）
製品特徴
1.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
2.最適なテンション調節機構によるダメージフリー
3.検査項目に適した自社製透過、反射照明搭載
4.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
5.豊富な実績から得たGUI
用途
メタルマスク用自動外観検査
スペック
- ワークタイプ
- シート
- 検査面
- 片面検査
- 検査分解能
- 0.5µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 400mm*400mmよりカスタマイズ可
- 最小線幅
- 10µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホール、変色、スクラッチ、打痕、気泡など
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