金属材基板自動外観検査装置（AOI）
製品特徴
1.超高速検査システム搭載
2.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
3.検査項目に適した自社製照明搭載
4.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
5.両面検査対応自動反転システム
6.豊富な実績から得たGUI
用途
金属材基板検査
スペック
- ワークタイプ
- シート
- 検査面
- 両面検査
- 検査分解能
- 3µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 400mm*400mm~カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S＝15/15µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホール、変色、スクラッチ、打痕、気泡など
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