RTR複合検査装置(2D+3D)
製品特徴
1.１台の装置で2DRTR検査に加え、3D検査も可能
2.レーザー光源とハイスピードカメラを採用した高速撮像の実現(3D)
3.独自開発による計測点抽出アルゴリズムによる効率的な自動検査の実現(3D)
4.お客様の検出欠陥、検査対象製品に合わせてカスタマイズ可能
用途
スペック
- ワークタイプ
- ロール
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- 2D：3μm/pixel, 3D：1μm/pixel, 1μm（高さ分解能）
- ワークタイプ有効寸法
- 260mm（カスタマイズ可）
- 最小線幅
- L/S=15/15μm
- カメラ
- 2D：18K TDIラインスキャンカメラ/3D：200万画素エリアカメラ
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、残銅、異物、ピンホールなど（2D）
シートの反り、段差など（3D）
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