ガラスマスク実用版自動外観検査装置AOI | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

ガラスマスク実用版自動外観検査装置AOI

製品特徴

1.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
2.ダメージフリーの最適なハンドリング機構採用
3.検査項目に適した自社製透過照明搭載
4.超高速検査システム搭載
5.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
6.豊富な実績から得たGUI 

用途

ガラス実用版 パターン形状欠陥検査

スペック

ワークタイプ
シートタイプ
検査面
片面
検査分解能
0.5µm~
ワークタイプ有効寸法
800mm*800mmよりカスタマイズ可
最小線幅
L/S=5/5µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど

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