メタルマスク用自動外観検査装置(FMM) | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

メタルマスク用自動外観検査装置(FMM)

製品特徴

1.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
2.最適なテンション調節機構によるダメージフリー
3.検査項目に適した自社製透過、反射照明搭載
4.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
5.豊富な実績から得たGUI 

用途

メタルエッチング用外観不良自動検査

スペック

ワークタイプ
シート
検査面
片面検査
検査分解能
0.5µm~
ワークタイプ有効寸法
400mm*400mmよりカスタマイズ可
最小線幅
10µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホール、変色、スクラッチ、打痕、気泡など

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