ワークタイプ シート 検査面 片面 検査分解能 2µm~ ワークタイプ有効寸法 250mm*250mm~カスタマイズ可 最小欠陥サイズ 3µm以上 カメラ 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能 照明 高輝度LED光源(長寿命タイプ) 検査項目 変色、異物、スクラッチ、ピンホール 打痕、気泡など