金属材基板自動外観検査装置(AVI) | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

金属材基板自動外観検査装置(AVI)

製品特徴

1.超高速検査システム搭載
2.自社独自アルゴリズムによる微細欠陥検出
3.検査項目に適した自社製照明搭載
4.顧客のオリジナルカスタマイズ対応
5.両面検査対応自動反転システム
6.豊富な実績から得たGUI

用途

金属材基板検査

スペック

ワークタイプ
シート
検査面
両面検査
検査分解能
3µm~
ワークタイプ有効寸法
400mm*400mm~カスタマイズ可
最小線幅
L/S=15/15µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホール、変色、スクラッチ、打痕、気泡など

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光学系フィルム

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