ガラス用基板自動外観検査(AOI) | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

ガラス用基板自動外観検査(AOI)

製品特徴

1.ガラス基板上のTSPパターン検査
2.全自動化によるIn-line化AOI実現
3.ライン上Tact timeに合わせた最適なカスタマイズ対応
4.検査項目に適した自社製照明システム
5.検査後のNG処理などカスタマイズ対応
6.各種In-line装置(ローダー&アンローダー)と連携対応

用途

ガラス用基板自動外観検査

スペック

ワークタイプ
シートタイプ
検査面
片面
検査分解能
1µm~
ワークタイプ有効寸法
500*500mm~カスタマイズ可
最小線幅
L/S=10/10µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、欠け、
突起、銅残り、異物、ピンホール等

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製品情報

光学系フィルム

ITデバイスなどその他