3D高速検査装置 | JEインターナショナル株式会社
お問い合わせはこちら

PRODUCT

3D高速検査装置

製品特徴

1.超微細高さ検査実現(5μ~10μ)
2.多様な製品表面に対応(正反射&乱反射タイプ)
3.超高速測定実現(連続搬送による測定)
4.自社独自光学系による設計

用途

スペック

ワークタイプ
ロール、シートまたは部品にも対応可能
検査面
片面
検査分解能
X方向、Y方向20μ
ワークタイプ有効寸法
300mm×300mm以内(この以上のサイズについては別途相談)
最小欠陥サイズ
検出高さ タイプA:1μ~10μ タイプB:30μ以上
カメラ
高解像度エリアカメラ
照明
LED&レーザー光源タイプ

製品に関するお問い合わせ

製品情報

3D検査装置

光学系フィルム(FILM AOI)