RtoR COF用自動外観検査装置 | JEインターナショナル株式会社
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PRODUCT

RtoR COF用自動外観検査装置

製品特徴

1.パターン検査(AOI)+外観検査(AVI)が1台で対応できる統合検査装置
2.独自技術の多様な照明による複合検査実現
3.多数のCOF検査装置実績から最適な検査Layoutご提案
4.ご要望に合わせた顧客専用オリジナルカスタマイズ対応

用途

COF用

スペック

ワークタイプ
RtoR
検査面
片面または両面
検査分解能
1µm~
ワークタイプ有効寸法
35*250mm~カスタマイズ可
最小線幅
L/S=5/5µm以上
カメラ
16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
照明
高輝度LED光源(長寿命タイプ)
検査項目
オープン、ショート、突起、欠け、
残銅、異物、ピンホールなど

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製品情報

光学系フィルム

ITデバイスなどその他