RTR微細パターン用外観検査装置(RTR AOI)
製品特徴
1.超高分解能検査対応(0.5μ～）
2.超微細L/S=3/3µmパターンピッチ対応
3.業界トップクラス高速検査対応
4.自社独自のAuto-focusによる最適なイメージ取得
5.ご要望に合わせた顧客専用オリジナルカスタマイズ対応
用途
FPC用自動外観検査
スペック
- ワークタイプ
- ロールTOロールピッチ搬送
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- 1µm
- ワークタイプ有効寸法
- 250mm~カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S＝3/3µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラ から選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、突起、欠け、残銅、異物、ピンホールなど
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