TSPシート用自動外観検査装置(TSP AOI)
製品特徴
1.In-line AOI実現
2.Tact timeに合わせた最適なカスタマイズ対応
3.複数のカメラ台による超高速検査実現
4.カラーベリファイなどオプション対応
5.検査項目に最適した自社製照明システム
6.豊富な実績から得たGUI
用途
フィルム用外観検査
スペック
- ワークタイプ
- シート
- 検査面
- 片面
- 検査分解能
- 1µm～
- ワークタイプ有効寸法
- 500mm*500mm～カスタマイズ可
- 最小線幅
- L/S=10/10µm以上
- カメラ
- 16,18,23Kラインスキャンカメラから選択可能
- 照明
- 高輝度LED光源（長寿命タイプ）
- 検査項目
- オープン、ショート、欠け、
突起、銅残り、異物、ピンホール等
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